PANDORA 是高度集成的台式原子层沉积系统，可摆放在实验室的任意角落，采用旋转式反应腔实现对粉末材料的分散，有更高的兼容性。对于平面样品，则可快速插入平面反应台，实现样品的切换。PANDORA 高度集成的特点提高了使用效率，使用者甚至在安装的第一天便可以开始 ALD 实验。【ALD 包覆改性方案】